| 작성일 | 제목 | 작성자 |
|---|---|---|
| 2021-03-26 14:37:00 | 정기주주총회결과 | 인베니아 |
| 2021-03-24 15:44:00 | [기재정정]단일판매ㆍ공급계약체결 | 인베니아 |
| 2021-03-18 17:47:00 | 사업보고서 (2020.12) | 인베니아 |
| 2021-03-17 16:35:00 | 감사보고서제출 | 인베니아 |
| 2021-03-09 14:26:00 | [첨부정정]의결권대리행사권유참고서류 | 인베니아 |
| 2021-03-05 17:10:00 | 의결권대리행사권유참고서류 | 인베니아 |
| 2021-03-05 17:09:00 | 주주총회소집공고 | 인베니아 |
| 2021-02-26 17:59:00 | 주주총회집중일개최사유신고 | 인베니아 |
| 2021-02-26 17:44:00 | 주주총회소집결의 | 인베니아 |
| 2021-02-24 16:29:00 | 매출액또는손익구조30%(대규모법인은15%)이상변동 | 인베니아 |
| 2020-12-22 11:20:00 | 기타경영사항(특허권취득)(자율공시) (유도 결합 플라즈마 처리장치) | 인베니아 |
| 2020-12-16 12:04:00 | 주식명의개서정지(주주명부폐쇄) | 인베니아 |
| 2020-11-13 17:43:00 | 단일판매ㆍ공급계약체결(자율공시) | 인베니아 |
| 2020-11-13 17:05:00 | 기타경영사항(특허권취득)(자율공시) (유도 결합 플라즈마 처리장치) | 인베니아 |
| 2020-11-13 16:29:00 | 기타경영사항(특허권취득)(자율공시) (유도 결합 플라즈마 처리장치) | 인베니아 |
| 2020-11-13 15:55:00 | 분기보고서 (2020.09) | 인베니아 |
| 2020-09-25 10:53:00 | 기타경영사항(특허권취득)(자율공시) (유도 결합 플라즈마 처리장치용 안테나 조립체 및 이를 갖는 유도 결합 플라즈마 처리장치) | 인베니아 |
| 2020-08-14 12:08:00 | 단일판매ㆍ공급계약체결 | 인베니아 |
| 2020-08-14 11:40:00 | 반기보고서 (2020.06) | 인베니아 |
| 2020-08-12 15:39:00 | [기재정정]단일판매ㆍ공급계약체결 | 인베니아 |