| 작성일 | 제목 | 작성자 |
|---|---|---|
| 2020-03-30 13:49:00 | 사업보고서 (2019.12) | 테스 |
| 2020-03-23 13:44:00 | 정기주주총회결과 | 테스 |
| 2020-03-17 13:21:00 | 주요사항보고서(자기주식취득신탁계약체결결정) | 테스 |
| 2020-03-13 16:18:00 | 감사보고서제출 | 테스 |
| 2020-03-06 15:49:00 | 참고서류 | 테스 |
| 2020-03-06 15:40:00 | 주주총회소집공고 | 테스 |
| 2020-03-06 15:20:00 | 단일판매ㆍ공급계약체결(자율공시) | 테스 |
| 2020-03-04 15:49:00 | 주주총회소집결의 | 테스 |
| 2020-02-24 15:45:00 | 단일판매ㆍ공급계약체결(자율공시) | 테스 |
| 2020-02-06 16:30:00 | 기타경영사항(특허권취득)(자율공시) (박막증착장치) | 테스 |
| 2020-02-06 16:30:00 | 기타경영사항(특허권취득)(자율공시) (기판처리장치) | 테스 |
| 2020-02-05 16:05:00 | 매출액또는손익구조30%(대규모법인은15%)이상변동 | 테스 |
| 2020-01-03 15:46:00 | 기타경영사항(특허권취득)(자율공시) (박막증착장치) | 테스 |
| 2019-12-30 15:41:00 | [기재정정]현금ㆍ현물배당결정 | 테스 |
| 2019-12-20 14:00:00 | 현금ㆍ현물배당결정 | 테스 |
| 2019-12-18 14:58:00 | 단일판매ㆍ공급계약체결(자율공시) | 테스 |
| 2019-12-12 15:51:00 | 주식명의개서정지(주주명부폐쇄) | 테스 |
| 2019-12-03 15:52:00 | 기타경영사항(특허권취득)(자율공시) (리프트핀유닛의 이동방법 및 기판처리장치) | 테스 |
| 2019-11-14 16:38:00 | 분기보고서 (2019.09) | 테스 |
| 2019-10-14 16:19:00 | 단일판매ㆍ공급계약체결(자율공시) | 테스 |
